Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Plasmaätzreinigung — plazminis ėsdinamasis valymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etch cleaning vok. Plasmaätzreinigung, f rus. очистка плазменным травлением, f pranc. nettoyage par décapage à plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
nettoyage par décapage à plasma — plazminis ėsdinamasis valymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etch cleaning vok. Plasmaätzreinigung, f rus. очистка плазменным травлением, f pranc. nettoyage par décapage à plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
plasma etch cleaning — plazminis ėsdinamasis valymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etch cleaning vok. Plasmaätzreinigung, f rus. очистка плазменным травлением, f pranc. nettoyage par décapage à plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
plazminis ėsdinamasis valymas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etch cleaning vok. Plasmaätzreinigung, f rus. очистка плазменным травлением, f pranc. nettoyage par décapage à plasma, m … Radioelektronikos terminų žodynas
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ — (от англ. planar плоский), совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины (подложки), вырезанной из монокристалла. П. т. основа микроэлектроники,… … Химическая энциклопедия
